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カメラや眼鏡レンズのコーティング、液晶ディスプレイの多層膜フィルター、LD・CD・DVDなどの光ピックアップレンズ、光通信用の分波器など、光学やオプトエレクトロニクスの分野で真空技術は大きな役割を果たしています。 この分野において、昭和真空は豊富な実績を持ち、より高度なニーズにお答えする多層膜真空蒸着装置や波長シフトレス対応RFイオンソースを開発。お客様の生産の効率化・生産性向上に寄与させて頂いております。
真空蒸着装置 SGC-S900/1300/1550/1700 Sapioシリーズ
光学薄膜用蒸着装置 SGC-S1700シリーズ
真空蒸着装置 Sapio-DBR
ロードロック式カルーセル型スパッタ装置 SPC-2507
インライン多層膜真空蒸着装置 SGS-3095
予兆保全用エッジコンピューティングシステム EPIoT
高出力RFイオンソース ISGシリーズ
油拡散ポンプ用省電力ユニット ECO-22/26
低パーティクル仕様 (Sapioオプション)