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絶え間ない技術革新の中、次代に連なる潮流は大きなうねりとなり、市場ニーズは刻々と変化し続けています。 エレクトロニクス技術においては、IC、LSI、MPU、メモリ…など、情報化社会のあらゆる分野に浸透しています。急速に進歩するエレクトロニクス分野では、真空を利用したより高度な成膜技術の果たす役割がますます大きくなっております。 昭和真空は、こうしたニーズの高まりに対応する為に真空蒸着装置をはじめ、各種スパッタリング装置を開発、高度化するお客様からのご要望にきめ細かくお応えしています。
ウエハトリミング装置 SST-M01T
ロードロック式カルーセル型スパッタ装置 SPC-2507
カルーセル型高速スパッタ重合装置 SPP-155TC
射出成型機連動型高速スパッタ・重合システム SPP Series
プラズマクリーナー SPE-2136A
真空蒸着装置 SEC-22C
小型真空蒸着装置 SEC-06D / SEC-08C
ロードロック方式スパッタリング装置 SPH-2500T-Ⅱ
ロードロック式通過型スパッタ装置 SPH-2410-Ⅱ
バッチ式真空蒸着装置 SDC-1300F
イオンプレーティング装置 SIP-1600F
ホロカソード式イオンプレーティング装置 SIH-400T
アーク放電型 イオンプレーティング装置 SIA-400T
枚葉式スパッタリング装置 SPMシリーズ
R&D用スパッタ装置
有機素子作成用真空蒸着装置 Various
カセットtoカセット型 ドライエッチング装置 SPEシリーズ
イオンビームスパッタリング装置 SPIシリーズ